トモグラフィーアトムプローブ・トモグラフィーのワークフロー

1試料1チップ:当社のトモグラフィーホルダー・システムに加え、FIB、アトムプローブの組み合わせにより、原子スケール3D画象を再構成する包括的かつ相互相関的なデータを取得できます。試料はFIBで必要なサイズと形状に加工され、チップに取り付けられたままTEMにセットされます。TEMを使用して、最終的な形状の確認を傾斜系列取得で行った後、アトムプローブにセットして最終的な分析を行うことができます。