ナノスケールでの温度マッピング

マイクロエレクトロニクス・デバイスは、TEMの分析ツールボックスを活用し、電気バイアス用ホルダーを使用することで、観察とテストを同時に行うことが可能です。UCLAが率いるチームは、バルクの温度をプラズモンを用いてナノメートルの空間分解能で測定する、非接触温度測定技術を実証しています。

参考文献： B.C. Regan et al. Nanoscale temperature mapping in operating microelectronic devices（動作中のマイクロ電子デバイスにおけるナノスケール温度マッピング）サイエンス誌（2015年）Abstract

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