シングルチャンネル・ガスフローTEMの安全性

Environmental Seal Checking Station being used before inserting specimen holder into TEM

雰囲気制御ホルダーを効果的に使用するためには、試料とシステムの入念な準備が必要です。ホルダーシステムの重要なコンポーネント構成機器は、高真空リークチェック漏れ検知・ステーション機能です。当社の高真空ポンプステーションは、TEM試料台用の真空保持とシールチェックを一体化したコンパクトな機構です。このステーションは、短い脱気時間、低いベース圧(<1e-6 mbar)、ホルダーチップ用のガラス製ビューイングポートが特徴です。