本ホルダーのベータチルト分解能と精度は、0.01度以下です。他社のダブルチルト試料ホルダーでしばしば問題となる、チルト方向反転時のバックラッシュも同程度です。右の図は、0→0.3→0度のベータチルトで、両方向に同じだけステップで傾けた後、0.0に正確に戻る様子を示しています。