MEMS加熱/バイアス用ホルダー加熱システム

当社の加熱+電気バイアス用ホルダープのラットフォームは、ハミングバードのマイクロ・ファブリケーション・チームによってサポートされています。全てのMEMSチップは、最適な性能と品質を保証するために、社内で設計、製造、テストされています。

当社のMEMSチップを用いたマイクロヒーターは、以下のような特長を備えています。

  • 1000°Cを超える温度
  • 4点の抵抗値センシング
  • 100時間以上の温度安定性
  • 広い視野
  • 電子分光法(EELSおよびEDS)との互換性