当社のその場観察用加熱／バイアス用MEMSチップ搭載試料ホルダーは、TEM内の試料を加熱したり電圧印加を行うことが可能です。オンチップセンサーによるクローズドループ制御で、1000°C以上までの加熱が可能です。

ホルダーの特徴:

• 直接チップに接触する挿入機構を採用しているため、接触が不安定で破損しやすいプローブを使用しません。よって、使い勝手が非常に良好です。
• 9接点による標準的なMEMSチップの加熱／電圧印可機能
• シングル／ダブルチルト構成
• 4点温度センサー方式
• 微小電流測定用シールド・ケーブル
• 加熱・電圧源一体型メーターコントローラー
• 直感的に操作できるグラフィカル・ユーザー・インターフェース(GUI)
• 全温度範囲でEDSに対応

本システムには、シングルチルトとダブルチルトの2タイプがあります。ダブルチルトホルダーでは、高精度（分解能0.01度以下）のベータチルト機構を搭載しています。また、チルト方向変更時のバックラッシュがないため、ダブルチルトホルダーとしては、最も安定した使い勝手の良さを実現しています。