電気バイアスコンタクトの構造と化学的評価を記録するためには、TEMベースの特性評価技術を総動員することになります。可動プローブと試料の接触部の開口面積が広いため、以下のような用途に最適です。

• 高分解能TEMイメージング
• 高分解能STEMイメージング
• 電子線回折
• エネルギー分散型X線分光法(EDS)
• 電子エネルギー損失分光法(EELS)

可動バイアシングプローブと金属ベース試料の60nm幅のコンタクトのTEM像の例です。接触部の構造が、高い空間分解能で観察されています。