トモグラフィーサン プル チップ・オ プ ション

着脱式試料チップは、同一の試料をTEMとアトムプローブ両方の顕微鏡にセットできるため、両顕微鏡の相関的なイメージ取得が可能になります。また、着脱式試料チップは、FIB/SEMに直接セットすることもでき、試料作製が容易に行えます。


シングルポイント・チップ

シングルポイント・チップは針状試料専用の試料ホルダーです。ナノスケールの針状試料は、着脱式チップに直接蒸着された材料を、FIBカットすることで作製されます。シングルポイント・チップは、ステージの可動領域内において、高アルファチルト角にまで追従します。それにより、針状試料を良好に観察することを可能にします。


1mmグリッド・チップ

このチップは、顕微鏡内対物レンズの狭い空間において、高チルト角トモグラフィー用に1mmの幾何形状試料をクランプします。


3mmハーフグリッド・チップ

このチップはハーフグリッド保持用に特別に設計されています。クランプされた試料には影ができず、高品質のトモグラフィーデータを得ることが可能です。また、標準的なFIBリフトアウト法で作製された試料だけでなく、針状試料にも使用できます。


3mmフルグリッド・チップ

このチップは、標準的な3mmの試料をクランプし、高アルファチルト角での影を最小限に抑えることが可能です。