エアフリー試料搬送用ホルダーアクセサリーについて

  • エアーフリー搬送用ホルダーには、以下のようなアクセサリーが用意されています。
    • MEMSチップの加熱/バイアスおよびバイアス用
    • MEMS加熱/バイアスコントローラー
    • 特殊な試料用バイアス基板(例:FIBプレップ)
    • バイアス電源 – 構成についてはお問い合わせください。
    • 真空チップカバー