当社では、2種類のエアフリー試料搬送用プラットフォームを 提 供して います。

• バイアスコンタクト付きMEMSチップ
• 標準的な3mm TEMグリッド

試料は、搬送用ホルダーの種類（MEMSチップとTEMグ リ ッ ド ）に 応 じ て 、準 備 チ ャ ン バ ー（ グ ロ ー ブ ボ ッ ク スなど）内のホルダーチップである、MEMSバイアスチップまたはTEMグリッドにセットされます。試料をセットした後、チップはホルダー本体に収納され、不活性ガス環境または高真空に密閉された状態になります。TEM内部では、試料ホルダーの先端を開いて、TEMイメージングとその場TEM実験が可能です。